通過機械裝置使泵內部的隔膜做往複式運動，從而對固定容積的泵腔（qiāng）內的（de）空（kōng）氣進行（háng）壓（yā）縮、拉伸形成真空（負壓），在泵抽氣（qì）口（kǒu）處與外界大氣壓產生（shēng）壓力差，在壓力差的作用下，將氣體壓（吸（xī））入（rù）泵腔，再從（cóng）排氣口排出。正因為抽氣口處或者抽排氣口可以與（yǔ）外界大氣形（xíng）成壓力差，同時不像大型（xíng）真空泵需要（yào）潤滑油和真空泵油，不會汙染工作介質，而（ér）且具有體積小巧、噪音低、免維護，可（kě）以連續24小時運轉等優點，所以微型真（zhēn）空泵（bèng）被作為動力裝置，廣泛用於氣體采樣、氣體循環、真空吸附（fù）、加速過濾、汽車真空助（zhù）力等等（děng）場合，在醫（yī）療、衛（wèi）生、科研（yán）、環保等領域得到了廣泛的應用。