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精密零件加工精度以納（nà）米，甚至以原子單位(原子晶格（gé）距（jù）離為0.1～0.2納米)為目標（biāo）時，超精密零件切（qiē）削加工（gōng）方法已不能（néng）適應，必要借助特種精（jīng）密零件加工的方（fāng）法，即（jí）應用化（huà）學能、電化學（xué）能、熱能或電能等，使這些（xiē）能（néng）量超越原子（zǐ）間（jiān）的聯合能，從（cóng）而去除工（gōng）件外（wài）表的部分原子間的附著、聯合或晶格（gé）變形，以達到（dào）超精密加工的目的。
在（zài）此階段采用大的切削速度，小的進給量和切削深度，切除上道工序所留下的精加工餘量，使零件表麵達（dá）到圖樣的技術（shù）要求。選擇精（jīng）密零（líng）件加工（gōng），不僅能有效（xiào）改善材料品質、零件精度，發揮其機能，還能使零件的耐用程度（dù）大大提高，促使整個機械的品質得到改善。
精密機械加工對（duì）提高零（líng）件的尺寸精度也有好處，所以直接的效果就是可以使得零件達成互換性，進而增加零件的耐磨性和使用（yòng）壽命。對於精密零部件的加工主要是尺（chǐ）寸方麵的要求，比如圓柱直徑（jìng）是多少（shǎo），有嚴格的要求，正負（fù）誤差在規（guī）定（dìng）要求範圍之內才是合（hé）格零件（jiàn），否則（zé）都是不合（hé）格零（líng）件。
長寬（kuān）高也有具體（tǐ）嚴格要求，正負誤差同樣有規定，比如一個內嵌式圓柱體，如果直（zhí）徑太（tài）大，超過誤差允許範圍內（nèi），就會造成插不進去的情況，如果實際直徑太小，超過（guò）誤差允許負值下限了，就會造成插進去太鬆（sōng），不牢固的問題發（fā）生。精密機械加工，並不是什麽材料都可以（yǐ）進行精（jīng）密加工的，比如一些硬度太大（dà）的材料如果超過了加工機件的硬度，有（yǒu）些（xiē）特殊材料是不適宜精（jīng）密精密加工的
