通過機械裝置使泵內部的隔膜做往複式運動，從而對固定容積（jī）的泵腔內（nèi）的空氣進行壓縮、拉伸（shēn）形（xíng）成真空（負壓），在泵抽氣口處（chù）與外（wài）界大氣壓產生壓力差，在壓力差（chà）的作用下，將氣體壓（吸）入泵腔，再（zài）從（cóng）排氣（qì）口排出。正因為抽氣口處或者抽排氣口可以與外界大氣形成壓力差，同（tóng）時不像大型（xíng）真空（kōng）泵需要潤滑油和真空泵油，不會汙染工（gōng）作介質，而且（qiě）具有體積小巧、噪音低、免維護，可以連續24小時運轉等優點，所以微型真空泵被作為動力裝置，廣泛用於氣體采樣、氣體循環、真空（kōng）吸附、加速過（guò）濾、汽車真空助（zhù）力等等場合，在醫療、衛生、科研、環保等領域得到了廣泛的應用。